Победитель конкурса «Молодые ученые 2.0»
Сергей Лаврентьев
Разработка перспективной схемы поддержания оптического разряда для плазменного источника излучения
01.00.00 Физико-математические науки
- Город
- Симферополь
- Где учится
- Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук Завершено обучение
Описание проекта
Оптические разряды (плазма, поддерживаемая лазерным излучением) применяются в качестве широкополосных источников излучения высокой яркости и стабильности в спектроскопии, эллипсометрии, медицине и других областях. Одно из наиболее востребованных применений — инспекция фотолитографического процесса при производстве микросхем. Главные требования для таких источников — исключительная яркость, мощность и стабильность излучения. Работа направлена на повышение эффективности таких источников.